中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269726 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体リソグラフィに使用される高度なフォトレジストシステムです。様々なリソグラフィーレシピでフォトレジストを正確に露出できる高精度システムです。TEL CS500は、自動露出制御や強力なフォーカスコントロールツールなど、フォトレジスト処理を容易にするさまざまな機能を提供しています。TOKYO ELECTRON CS 500は、単層製剤や多層レジスト製剤など、さまざまなフォトレジストに対応できるように設計されています。最大450mm×450mmの露出面積を持つ単層および多層フォトレジストフィルムでパターンを露出することができます。CS500は、最大0。5ミクロンの線幅をサポートできる高速スキャン機能を備えています。これは、高度なフォトリソグラフィ用途における超微細構造のパターン化に適しています。CS 500には、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、温度制御環境、さまざまな安全機能など、さまざまな機能があります。露出コントローラは、最適なパターン露出を確保するために露出設定のリアルタイムのフィードバックを提供します。TEL CS 500には、レジストフィルムの厚さとレジストプロファイルをその場で測定するための放射計測部品も内蔵しています。TOKYO ELECTRON CS500は、精度と安定性を兼ね備え、優れた加工結果とエレガントな体験をユーザーに提供します。これは、高収率と再現性のあるプロセス結果を提供しながら、廃棄物を削減するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、半導体業界の様々な産業・研究用途に適しています。その様々な機能と堅牢な性能により、フォトレジスト処理に最適なシステムです。