中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269725 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、大容量マイクロエレクトロニクスとオプトエレクトロニクスの多様なニーズに対応するフォトレジスト機器です。先進的なイメージング技術と露光技術を活用し、先端半導体デバイスに優れた性能を提供します。このシステムは、光学薄膜から電子ビーム、X線レジストまで、さまざまなフォトレジスト材料のフォトリソグラフィに適しています。TEL CS500には、露出領域を正確に定義し、ウエハにフォーカスして最適なパフォーマンスを実現する様々なハードウェアおよびソフトウェア機能が搭載されています。高解像度パターンジェネレータを搭載し、優れたジオメトリ忠実度、エッジの鋭さ、焦点の深さ、およびレチクル誤差を低減するアライメントカメラを備えています。さらに、ソフトウェアに内蔵された露出パラメータのデータベースを使用すると、これ以上のデータ入力なしで、以前に使用した露出設定をすばやく呼び出すことができます。TOKYO ELECTRON CS 500はまた、ユニットの実用化を最適化する多くの機能を搭載しています。メンテナンスフリーの50kVウェーハステージを搭載し、エッジのシャープネスを維持するためにウェーハ位置を手動で調整する必要がありません。さらに、高度な自動ウェーハ処理機能により、複数のウェーハを一度にロードおよびアンロードでき、サイクル時間を大幅に短縮できます。TEL CS 500の高度なソフトウェアおよびハードウェア機能は、信頼性の高いパフォーマンスを保証し、安定した歩留まりを保証します。オンボードマスクレスのフォトリソグラフィック機能を活用することで、最高レベルの生産性を求める大量生産環境に最適です。さらに、本質的な柔軟性により、光源の変更など、生産技術の変化に迅速に対応することができます。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、ユーザーに比類のない性能と信頼性を提供する最先端のフォトレジストツールです。高度なイメージングおよび露光技術により、今日の厳しい生産環境のニーズを容易に満たすことができます。