中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269724 を販売中
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ID: 9269724
System
HITACHI LE-4000A
Temperature controller
Pump case
Desktop and power box.
TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体の加工・製造に使用される「フォトレジスト」装置です。このシステムは、フォトリソグラフィを使用して、ウェーハ表面に複雑なパターンを作成します。半導体デバイス製造において重要なステップであり、多種多様な集積回路の製造において重要な役割を果たしています。このユニットは、簡単にフォトレジストコーティングされたウェーハを光源に露出させ、ウェーハ表面に特定のパターンを作成します。TEL CS500機には、高輝度レーザー、UVランプ、ステッパータイプの照明器具など、さまざまな露光源が装備されています。また、ビームパターンを傾ける、回転する、またはその他の方法で変更して、目的のパターンを作成することもできます。東京エレクトロンCS 500の露光源は、フォトレジストパターニングの解像度を高めるための短い波長光を生成します。さらに、そのソフトウェアにより、エンジニアは露出レベルを制御、操作、微調整することができます。これにより、デバイス製造の高精度が保証されます。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500には高精度のステージツールも搭載。このアセットにより、各露出中にウェーハがまったく同じ位置にあることが保証されます。これは不具合を修復し、再現可能なパターンを作成するために必要です。TEL CS 500モデルは、市場で最も先進的なシステムの1つです。高品質の照明源、精密な舞台装置、使いやすいソフトウェアを組み合わせ、さまざまな精度レベルの高精度レジストを生成することができます。
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