中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269722 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体業界でパターニング、エッチング、レジスト加工に使用されるフォトレジストシステムです。このマシンは、Graphic Work Station （GWS）とCentral Processing Unit （CPU）の2つの部品を統合しています。GWSは、すべてのグラフィック入力、画像処理、出力を担当しています。これには、マウスとユーザーインターフェイス用のキーボード、および操作の進行状況を表示するための表示画面が含まれています。一方、CPUはすべての操作を制御し、調整する責任があります。ホストコンピュータ、ソフトウェア、周辺機器で構成されています。TEL CS500は、フォトリソグラフィ、ラミネーション、電気めっき、熱硬化、光学加工など、幅広いイメージングプロセスを採用しています。そのコア技術は、一般的にdeep-UVフォトリソグラフィとして知られている写真技術の修正版です。この技術では、紫外線をきつく集中させたビームを使用してフォトレジストを露出させ、それを加工してターゲット表面に正確なパターンを作成します。TEL CS500allows汎用レジストから高解像度フォトレジストまで、幅広いレジストタイプに対応しています。レジスト材料はクリーンルーム環境に配置され、システムのレーザーによって露出されます。露出後、レジストが開発され、ターゲット表面に正確に再現できる微細な特徴のパターンが得られます。TOKYO ELECTRON CS 500は、3次元オートフォーカス、プログラマブル自動露出、プログラマブル露出ランプ、マルチパターンアライメントなどの高度な機能を採用しています。また、ポストベーク、ポストデベロップメント、ポストアプリケーション、ポストエッチングなど、さまざまなポストエクスポージャー制御モードも提供しています。これにより、プロセスの各ステップが正確かつ正確に制御されます。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、半導体業界に効率的なプロセス制御と高品質なパターンを提供する、信頼性の高い、ユーザーフレンドリーで正確なフォトレジストシステムです。その洗練された機能と高度な技術により、精密エッチングやレジスト処理に最適で、業界で最も人気のあるフォトレジストシステムの1つです。