中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269721 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体デバイス製造に使用されるハイエンドフォトレジスト機器です。パターニング、アニーリング、エッチング、成膜など、多種多様な半導体加工アプリケーションに対応できる完全自動化システムです。TEL CS500は、フォトリソグラフィに抵抗マスクユニットを使用したARCVD（大気関係、化学、蒸着）装置です。トランジスタやICなどの活性半導体デバイスの基盤となる非常に薄いフォトレジスト層を作ることができます。このマシンは、0。1 µm解像度の高解像度環境と、1回のダイレートで1万ウェハ/時間の高スループット環境で動作できます。このマシンは一度に100/ウェーハを処理することができ、自動化によりデバイスの歩留まりが向上します。TOKYO ELECTRON CS 500は、In-Situ Purging Tool （ISPS）により、プロセスの安定性と再現性を最大限に高めるよう設計されています。この資産は、高精度な半導体デバイス製造に不可欠な温度と圧力安定環境を備えたプリミックスプロセスガスの冗長な流れを提供します。CS 500モデルには、最適なプロセス処方と制御のために設計された完全に統合されたコーター/デベロッパーユニットが含まれています。ウェーハ全体をエッジからエッジまでカバーするように設計されており、均一性とより大きなプロセス制御を提供します。また、MEMS、 PCB、 LED、バイオセンサー、光学部品の製造など、さまざまな用途での使用を想定して設計されています。システムはまた顧客のさまざまな必要性を満たすために付加的なプロセスソリューションとカスタマイズすることができます。結論として、CS500は堅牢で信頼性の高いフォトレジストユニットであり、半導体デバイス処理アプリケーションの高度な機能をユーザーに提供します。In-Situ Purging Machine （ISPS）、 Coater/Developer Unit、高解像度およびスループット機能などの高度な機能により、ハイエンドの半導体デバイス製造に最適です。