中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269720 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、高度な半導体デバイスのプロセスに使用されるフォトレジスト機器です。半導体ファブリケーターのニーズに合わせた包括的な電磁リソグラフィーシステムを提供します。8インチおよび12インチのウェーハを含む幅広い基板に対応可能で、高解像度ステッパー/スキャナ機を備えています。また、18インチウェーハまでのデュアルパネルにも対応可能です。ステッパー/スキャナツールは、最大0。08 μ mの解像度で高解像度の画像を生成できます。このアセットは、フォトレジストプロセス中に精度と信頼性を確保するための多くの機能を提供します。これには、完全に閉じられた自動化されたスキャナーカセットローディングモデル、軸上ウェーハアライメントモジュール、および高速ウェーハ処理装置が含まれます。また、温度制御と熱均一性を可能にする高度なホットチャックヒーターと、高度に統合された制御アーキテクチャを備え、プロセスのセットアップと管理を容易にします。光学ユニットは、高出力照明機、高度な位相格子、フィールドカプラーなど、さまざまなコンポーネントで構成されています。特にイルミネーションツールは光収率が高く、焦点深度の高い高精度パターン印刷が可能です。このアセットは、幅広い基板やフォトレジスト材料に対応できます。標準のi-lineおよびKrFリソグラフィーシステムと互換性があり、化学蒸着（CVD）レジストコーティングモデルが装備されています。レジストコーティングプロセスの一環として、装置にはサイドウォールコントロール、正確なパターン作成に必要な重要なステップが含まれています。また、高度なソフトウェアを搭載しており、プロセスの各ステップの管理とトレーサビリティを容易にすることができます。このソフトウェアを使用すると、シンプルで使いやすいグラフィカルインターフェイスでパラメータを設定、処理、監視できます。全体的に、TEL CS500フォトレジストユニットは、高度な半導体デバイスのプロセスのための高度で汎用性の高いツールです。その高解像度ステッパー/スキャナマシン、高度な照明、CVDレジストコーティング、包括的なユーザーフレンドリーなソフトウェアは、フォトレジストプロセスを実行するときに精度と信頼性を求めるファブリケーターに最適です。