中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269718 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、先進的な半導体およびマイクロエレクトロニクス機器製造向けに設計されたフォトレジスト機器です。シリコンウェーハ、クォーツウェーハ、OLED基板、および複数の金属など、さまざまな基板からフォトレジスト層をエッチングして除去することができます。TEL CS500の高度なパターニング機能により、フォトレジストの使用率を最大限に高め、プロセスを迅速かつコスト効率的にします。東京エレクトロンCS 500は、0。35マイクロメートルという小型の画像処理機能を備えた高解像度イメージングシステムで、回路特性の正確な再現性を提供します。また、光学ユニットは屈折率が低いため、回折を低減し、より高いエネルギー放射を伝達することができます。これにより、より高い解像度と高いスループットが得られ、回路の高速かつ正確なエッチングが可能になります。CS 500には、フォトレジストの信号対ノイズ比を最大化できる高効率のポスト電子乗数検出器が搭載されています。また、高感度ブロードバンドCO2レーザー配信ツールを備えており、低電圧動作を可能にし、高エネルギー放射下でのスパッタリングを大幅に低減します。また、デリバリーアセットにはフラットフィールドエネルギー検出器も備えており、広い領域で正確な処理が可能です。TEL CS 500は特殊なチャンバー設計を採用し、低温環境を維持しながらエッチングプロセスの接触時間を短縮します。これにより、処理時間を短縮し、フィルムの安定性を向上させます。CS500にはユニークなスプリットチャンバー構成も含まれており、ウェーハとチャンバ間のクロスコンタミネーションを防止することで汚染レベルを低減します。最後に、TOKYO ELECTRON CS500には、迅速なセットアップと簡単な操作を可能にする高度な制御プログラムが含まれています。制御プログラムは、ユーザーが即座に処理パラメータを調整できるように設計されており、プロセスが処理される基板に最適化されていることを保証します。また、究極のエッチング精度を実現するため、シェル温度とチャンバー圧力をリモートで制御できます。