中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269714 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体製造用レジスト基板のprocessing用に設計された自動フォトレジストコーティング装置です。TEL CS500は、基板の360度カバレッジを可能にする単軸ステージに基づいています。これにより、システムの電源をオン/オフして迅速かつ正確なレジストローディングを行うことができるため、非常に効率的なアプリケーションプロセスが可能になります。TOKYO ELECTRON CS 500樹脂をシリンジポンプに供給することで、コーティング液を正確かつ正確に制御できます。次に、ポンプを使用して、ウェーハ全体にレジストソリューションを適用して「トラックフォロー」モードで広げます。これにより、基板全体のレジストの均一で一貫したカバレッジが保証されます。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500には様々な動作モードがあります。これにはセルフキャリブレーションモードがあり、コーティング前にレジストの均一性とカバレッジを確認できるため、パラメーターの設定やキャリブレーションエラーを識別しやすくなります。自動温度制御機を搭載しています。これにより、プロセス全体で一貫した温度が保証され、レジストの正確で一貫した適用が保証されます。TOKYO ELECTRON CS500には、故障検知ツールも内蔵しています。これにより、レジストが分配される前にユーザーにあらゆる問題を警告し、必要に応じて迅速な是正措置を行うことができます。CS500は、負から正、低粘度から高粘度まで、さまざまなレジストと互換性があります。これにより、小規模生産または大規模生産のためのレジストの迅速な切り替えが可能になります。最後に、CS 500はまた、コンピュータのネットワークへの簡単な接続を可能にし、資産のリモート制御と操作を可能にします。これは、大規模な生産に役立ち、任意のパラメータのリモート監視と調整を可能にします。全体的に、TEL CS 500は自動フォトレジストコーティングモデルであり、マニュアルの介入を最小限に抑えながら、基板全体にレジスト層を均一かつ一貫した分布を提供するように設計されています。自動化された機能と多様なレジストとの互換性により、半導体製造に最適です。