中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269711 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、高度な電子デバイスの製造のための高解像度リソグラフィを提供する高度なフォトレジストシステムです。TEL CS500は、フォトレジストスピンコーティング（PRSC）や可変焦点光学（VFO）などの最先端の機能を利用しています。PRSCは、基板上にフォトレジストを堆積させるために使用されます。このプロセスにより、フォトレジストフィルムの厚さが均一になり、露光線量と線幅が大小のパネルで同一であることが保証されます。VFOはレーザーを使用して、フォトレジスト層の正確で高解像度のパターニングを保証します。レーザー光は、重要なパターンや露出のための基板の正確な層や領域に焦点を当てています。PRSCおよびVFOに加えて、東京エレクトロンCS 500は、フォトリソグラフィのプロセスに役立つ温度制御ステージも備えています。ステージは、フォトレジスト層の均一性を促進するために基板に熱を適用します。また、硬化時間を最適化し、露出精度を向上させます。また、TEL CS 500は直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、プロセスを迅速かつ簡単に制御できます。直感的なGUIにより、レシピの管理、露出の選択、パラメータの調整、プロセスの監視が簡単に行えます。また、リアルタイムイメージビューアを搭載し、露出時のモニタリング用に基板の画像を表示します。CS 500は、現代の半導体製造に欠かせないツールです。完成したデバイスの精度や品質を犠牲にすることなく、薄膜材料の正確なパターンを提供します。TOKYO ELECTRON CS500は、生産コストを削減し、幅広い製品で最高レベルの解像度を提供します。このシステムは、高解像度フォトリソグラフィを必要とするチップメーカーにとって、信頼性が高く、費用対効果が高く、推奨されるソリューションです。