中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269707 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体関連産業におけるデバイス生産用に設計されたフォトレジスト機器です。露光照射とエッチング技術により、薄膜フォトレジスト層を正確に処理するように設計されています。この包括的なシステムは、さまざまなタイプの薄膜フォトレジスト層を効率的かつ正確に処理することができます。TEL CS500は、極薄フォトレジスト層を処理する際に高精度を提供し、デバイス製造のユーザーをサポートするように設計されています。それは正確な露出および精密な層の厚さ制御を保障するように設計されている最新のフォトリソグラフィ装置が装備されています。UV-VIS-IRの露光源を使用して、ユーザーは65nmから5µm厚いフォトレジスト層を処理することができます。TOKYO ELECTRON CS 500は、高精度の露光ステージを備え、より小さな基板の精度を高めます。また、大気中の乾式および湿式エッチングシステムを制御し、エッチングプロセスを正確に制御および監視することができます。温度および圧力レベルは調節可能であり、単位は汚染からフォトレジストの層を保護するように設計されています。CS 500には、効率的で正確なフォトリソグラフィーシーケンスをユーザーに提供するように設計された自動フォトレジスト処理サポートソフトウェアが付属しています。このソフトウェアは、ユーザーが簡単にフォトマスクプロセスの変数を調整することができます。TOKYO ELECTRON CS500マシンは、ウェーハの位置を追跡し、精度と再現性のためのデータを記録するウェーハID技術を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、デバイス生産のための精密かつ正確なプロセスを提供するために設計された高度なフォトレジストツールです。高精度の露光ステージ、大気乾燥およびウェットエッチング資産、および最適化されたフォトリソグラフィのための自動フォトレジスト処理サポートソフトウェアを備えています。また、正確な追跡とデータ記録のためのウェーハID技術も含まれています。TEL CS 500は、先進的なデバイス生産の課題に対応する理想的なモデルです。