中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269704 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体製造処理用に設計された革新的なフォトレジスト装置です。フォトレジスト（Photoresist）とは、半導体ウェーハなどの基板に適用される光感受性材料で、集積回路を製造する過程でパターンを作成することです。TEL CS500システムは、ダイレクトイメージング技術と特許取得済みのUV露光技術を組み合わせ、高精度で高精度なフォトレジストパターニングを実現します。TOKYO ELECTRON CS 500は、ダイレクトイメージング技術に加え、紫外線を照射する独自の手法で設計されています。このユニットでは、2組のUVランプで構成されており、パターンの方向性が高く均一な照明を提供し、フォトレジストラインの正確で正確な位置決めを可能にします。光強度も調整可能で、ユーザーは異なるフォトレジストの複雑さとライン幅のためにマシンを調整することができます。このツール独自の露光技術は、光学散乱や干渉によるエラーを最小限に抑え、可能な限り最小の線幅で最高品質のパターンを生成するように設計されています。さらに、CS500には高度な照明コントローラと、最適な結果を得るための正確な露光時間設定機能を備えています。CS 500アセットは、優れた正確なフォトレジストパターニングを可能にするリアルタイムの自動線量調整機能を含む自動モデルで設計されています。自動化された機器はエラーを検出して検出することもでき、トラブルシューティングやパターンの均一性の調整が容易になります。さらに、このシステムは、ソフトウェアベースのプロセス制御、フレンドリーなユーザーインターフェイス、強化されたプロセス制御機能と組み合わせた、低コストの露出および処理ソリューションで設計されています。また、優れたフォトレジストパターニングを実現するために、サブミクロン精度の向上と従来のシステムの印刷可能な性能を超えた解像度の向上を実現した東京エレクトロンCS500ユニットを搭載しています。さらに、このマシンは、非常に質感の高い表面や粗い表面など、さまざまな基板で使用するために構成されており、シングルショットおよびマルチショット露光の両方に使用することができます。TEL CS 500は、高精度な紫外線露光技術と独自のイメージング技術を組み合わせた、先駆的なフォトレジストツールです。自動アセット、高度な照明コントローラ、解像度の向上、費用対効果の高いソリューションにより、さまざまなアプリケーションに最適なフォトレジストモデルです。