中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269702 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、高精度フォトリソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。ファブやクリーンルームへの設置が容易なコンパクトなボディで、優れた再現性と精度でマスクやパターンを生成することができます。TEL CS500は、高精度のステージとスキャンレーザーシステムを使用して、基板とフォトレジストの動きを正確に制御します。ステージは1µmの再現性があり、スキャナは0.03µmの精度で移動パターンを繰り返すことができます。これは、感光ガラス、GaAs、石英、およびその他の先端材料を含む広い種類の基板のために設計されています。東京エレクトロンCS 500は、真空チャックと静電容量を利用して基板を確保し、露出を最適化します。光学ユニットは、光を均等に分配し、強度異質性エラーを低減するように設計されています。マシン全体で10分の短い時間でフルマスクを露出することができ、また、大面積マスクのステップアンドリピート露光パターンと連続スキャンをサポートします。CS 500で使用されるフォトレジストはユーザーによって正確に定義され、開発者は作成したパターンの解像度を制御できます。TOKYO ELECTRON CS500は、最大17mJ/cm2の露光範囲で、幅広い用途に適しています。直径300mmまでのフォトマスクに対応し、TEL/TOKYO ELECTRON CS 500との統合を可能にするオープンアーキテクチャ設計を採用しています。CS500は最低の維持の条件と設計され、遠隔監視および操作のためにネットワーク可能です。他のTELリソグラフィーシステムとの通信が可能で、生産時間やワークフローをより良く制御できます。TEL CS 500は、高精度フォトリソグラフィ用途向けの信頼性の高いフォトレジストツールです。