中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269701 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体・マイクロエレクトロニクス製造におけるウェーハへの応用を目的としたフォトレジスト機器です。基板サイズは200mmまで対応可能です。TEL CS500は、サブクォータミクロン機能を備えたマイクロリソグラフィーで利用可能な最高解像度を提供します。それに反復可能な、信頼できる結果を保障する現代設計および高度の特徴があります。このシステムは、ウェーハの迅速な積み下ろしのために設計されており、大規模な生産が容易になります。基板を正確に整列させ、均一な加工を実現するユニークな動きメカニズムを備えています。さらに、それは完全に自動化され、フォトリソグラフィの最も効率的で経済的な手段を提供することができます。東京エレクトロンCS 500は、レーザーベースのデバイスを使用してウェーハ表面を照射し、露光量を調整してスケーラビリティと最適な性能を実現します。polymethylmethacrylateファミリー、polyimideファミリー、novolacファミリーを含む複数のフォトレジスト材料を利用することができます。フォトレジストフィルムの幅広い応用が可能で、精密な均一性とカバレッジで様々なミクロンスケールのパターンを実現しています。統合されたプロセスパラメータを使用すると、すばやく校正して目的の結果を得ることができます。TEL CS 500は、プロセスパラメータを微調整するための幅広いオプションも提供しています。これには、調整可能なレーザービーム強度やフォーカスなどの機能の改善、露光時間の調整などが含まれます。これらのパラメータを使用して、抵抗材料やパターンに関係なく高品質の結果を得るようにマシンを構成することができます。CS 500は、フォトレジスト用途向けの強力で信頼性の高いソリューションであり、優れたスループットと正確な結果を提供します。それはあらゆる半導体かマイクロエレクトロニクスの生産ラインへ貴重な付加です。