中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269697 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、化学的、機械的、熱安定性に優れたフォトレジスト機器です。システムは2つのコンポーネントで構成されています：TEL CS500フォトレジストユニット自体、露出、開発、プレベーキングおよびポストベーキングプロセス、およびそれに付随するソフトウェアを実行し、ユーザーはレシピと機械パラメータを調整することができます。TOKYO ELECTRON CS 500ツールは、メモリICチップ製造設備におけるフォトレジストの精密露光・開発を可能にします。高精度のコリメート露出アセットと個別のダイプラズマプリベークユニットの組み合わせにより、優れた均一性、再現性、スピードを提供します。ファインスレッド高さ調整機構により、高精度露光制御を実現します。このモデルは、優れた結果を得るための自動開発ヘッドも備えており、内蔵の膜厚モニターが装備されています。付属のソフトウェアは、マウスをクリックして、マスクサイズ、露出量、開発時間、およびプレベーキングおよびポストベーキング温度を含むすべてのプロセスパラメータを制御および調整する手段を提供します。レシピパラメータはメモリに保存し、将来の使用のためにリコールすることができ、正確なレシピで再現可能な処理を簡単にします。また、長寿命の光学スリットユニットを内蔵し、高精度なレベリングと膜厚モニタによる正確な測定が可能です。さらに、電子自動抵抗否定的な制御は動きおよび洗浄時間の間に衝撃負荷を避けるために提供されます。設置が容易なコンパクトな構造で、メンテナンス性、低消費電力、ノイズレベルの低減を実現しています。それは非常に粗く、腐食性の環境で作動するように設計され、いろいろな化学薬品および溶媒と互換性があります。このユニットは、化学的、機械的、および/または熱安定性が高いため、最も頑丈な生産環境での使用に適しています。結論として、TEL CS 500フォトレジストマシンは、優れた均一性と再現性を提供する高精度で操作しやすいツールです。その特徴と安定性は、メモリICチップ生産設備にとって理想的な資産です。