中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269651 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体デバイス製造用に設計されたフォトレジスト機器です。さまざまなリソグラフィ技術を使用して、高解像度の表面に高品質のマイクロストラクチャーを作成します。このシステムは、デジタルイメージング技術を利用して、ナノスケールの精度で高精度な設計機能を生成します。TEL CS500は、ウエハ表面のフォトレジストコーティングを紫外線（UV）光源に露出させます。このUV光は、ウェーハに配信される前に高解像度プログラムによって変調されます。このプログラムは、異なるフォトレジストタイプに合わせて調整することができ、ユーザーは正確で正確なデザインを得ることができます。また、コーティング工程での周囲空気汚染を低減するため、先進の真空ユニットを採用しています。これにより欠陥を低減し、塗布時の粒子の目詰まりを防ぎます。このマシンには、高度なDose-Time Printer （DTP）ソフトウェアも付属しています。このソフトウェアは、ユーザーが紫外線光源の露出と線量レベルを設定することができます。これは、希望するデザインパターンをソフトウェアに直接入力することによって行われます。ユーザーは、リアルタイムの線量レベルを監視し、目的のデザインの露出を最適化しようとすることができます。CS 500はまた、紫外線から人員や機器を保護するさまざまな安全機能を提供しています。これには、UV露出を検出し、防護服を着用して安全な作業距離を維持できるリアルタイムイメージングツールが含まれています。この資産はまた、放射線被ばくを減らすことができる放射線遮蔽および遮蔽フィルターを提供しています。TEL CS 500は、ナノスケールの精度で正確な設計機能、周囲の空気汚染からの真空保護、有害な紫外線から人員や機器を保護する安全機能を提供する、半導体製造装置の製造者にとって貴重なツールです。