中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269648 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipmentは、高度な半導体デバイス製造の課題に対応するために設計された統合された自動システムです。TEL CS500には、半導体ウェーハからフォトレジストコーティングを除去するための優れたストリップ性能を提供するケミカルストリップモジュールが装備されています。また、フォトレジストコーティングおよびプリコーティングソリューションを最小限の手作業で処理するために設計された自動スピン開発およびコーティングユニットとしても機能します。TOKYO ELECTRON CS 500は、ウエハサイジングの自動化と、プロセスの乱れや清潔感のためのアラーム通知を備えた、シンプルで使いやすいタッチスクリーンです。TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、多種多様なシフト構成により、高い生産性と柔軟性を実現します。このマシンは、設定可能なプロセスステップのための使いやすく、直感的なグラフィカルインターフェイスを提供します。このツールは、ユニークなCold Path熱交換器を使用して、すべてのアプリケーションに優れた精度を提供します。これにより、プロセスの均一性と優れたコーティング厚さの均一性がウェハエリア全体にわたって保証されます。さらに、CS 500には、オーバースプレーを含むすべてのディスペンス要件を制御できる高度なケミカルディスペンスモードが含まれています。TOKYO ELECTRON CS500は、最大300種類の高度なコートレシピでスピンコーティングとスプレーコーティングの両方のプロセスを実行するように設計されています。これは、脆弱な基板用のエラーフリーの複数のウエハハンドリングと、プロセス歩留まり向上のための信頼性の高い高精度ポジショニングに統合されています。高度な自己診断アセットには、すべての重要なモデルコンポーネントの包括的なデータロギングが含まれています。さらに、TEL CS 500は、自動データ分析のためのユーザー設定可能なカスタムレポートを提供します。CS500は、大気を浄化し、ウェーハ表面を汚染から保護するガス浄化装置やフィルターモジュールを活用し、ウェーハ品質を保護する信頼性の高いチャンバー環境です。高度な換気システムは、高真空レベルを維持することができる圧力の乱れを防ぐように設計されています。さらに、高度なウエハハンドリングメカニズムを採用し、自動バッチ処理とシングルウエハー処理の間の柔軟性を備えた完全なエッジ汚染制御を実現します。また、TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、最適な膜均一性と結晶完成度を実現するために、ユーザーが選択可能な均一な層およびドライチューンテクノロジープロセスを提供します。さらに、オペレータはプロセス要件に最も適したプロセスパラメータとセットアップパラメータを構成できます。これにより、完璧なウェーハアライメントと最高のコーティング均一性が保証されます。全体的に、TEL CS500フォトレジストマシンは、優れた性能を持つ柔軟な生産のために設計されています。このツールは、プロセス精度、再現性、スループットを向上させます。その直感的なタッチスクリーンインターフェイスと自己診断資産は、簡単な操作と効率的なプロセス制御を保証します。TOKYO ELECTRON CS 500は、先進的な半導体デバイス製造に最適なソリューションです。