中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269647 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipmentは、集積回路の生産を目的とした先進的なフォトリソグラフィーシステムです。本機は、最新のリソグラフィ技術を駆使した全自動フォトリソグラフィーマシンで、これまでにない精度とスピードでチップ生産を可能にします。TEL CS500には、最大24枚のフォトマスクを備えたレジストフィルムの露出と開発の両方が可能です。1時間あたり最大6,500個のウエハーを処理でき、フォトリソグラフィのニーズに合わせてさまざまな機能を搭載しています。これらには、深紫外線（DUV）光からX線光まで、幅広い露光波長が含まれます。また、露出精度を確保するために、レチクル制御とウェーハステージアライメントも可能です。TOKYO ELECTRON CS 500には、露光プロセス中にフォトレジスト層を正しく配置するための高度な自動アライメントアセット（AAS）が搭載されています。このモデルは、部品形状と位置データ、X線スリット配置、およびウェーハひずみ調整器の両方を考慮して、適切なサイズのレジスト層が生成されることを確認します。AASはまた、指定された厚さのレジスト層を生成するために調整することができる線量率の設定の調整を可能にします。また、CS 500には、製造後のフォトレジスト層の欠陥を検出する検査装置が内蔵されています。このシステムは、欠陥を3マイクロメートルまで検出することができ、欠陥のあるフィルムを迅速に検出および修正することができます。TEL CS 500では、フォトレジストが均等に露出して開発されていることを確認するために、高度なコヒーレントビームアレイ（CBA）露光ユニットを使用しています。このマシンは、レジスト層に投影されたレーザービームの配列を備えており、光がレイヤー全体に均等にメーターアウトされるようにします。TOKYO ELECTRON CS500は、チップ生産の精度とスループットを大幅に向上させることができる強力なリソグラフィーツールです。高度な自動アライメントと検査システム、ビームアレイ露出アセットを組み合わせることで、最新のチップ生産プロセスに不可欠なツールとなります。