中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269646 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、最先端の技術を駆使し、従来のフォトレジスト技術よりも高品質な結果を生み出すフォトレジスト機器です。システムには、優れたフォトレジスト画像を作成するために一緒に動作するいくつかのコンポーネントが含まれています。まず、フォトレジストフィルムの露出を確実にするために、需要の高い深紫外線光源を搭載しています。このマシンは、さまざまなタイプのフォトレジストフィルムのスペクトル要件に適合するために、250〜410 nmの波長範囲を持っています。光源には、露光時間を制御し、フォトレジスト層の完全性を維持するための非常に効率的なシャッターツールも含まれています。また、ウエハハンドリングモデルを全自動で搭載し、直径2〜300mmまでのウエハーを取り扱うことができます。このウェハハンドリング装置には、真空チャックと大面積の露出に最適な自動ステージが装備されています。さらに、フォトレジスト層の均一かつ再現可能な露出を優先するため、高精度な基板位置監視ユニットを維持しています。TEL CS500には高度なレジスト浸漬機械技術が搭載されており、浸透したレジストからの気泡の適切な抵抗供給と除去を保証します。このツールは、レジストの均一で連続的な補充のための頑丈で高効率な循環資産で設計されています。最後に、モデルに精密な抵抗の適用および均一なフィルム形成のための2つの高度の分配モジュールがあります。モジュールは、高精度で精度の高い分配方法を使用して、均一で一貫したフォトレジストパターンを作成します。これらの機能の結果は、優れたフォトレジストのフィルム品質で高性能な画像と均一なパターンを作成することができるフォトレジスト機器です。TOKYO ELECTRON CS 500は、高度な機能と技術により、多様なフォトレジストシステムニーズに優れた結果を提供することができます。