中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269643 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、幅広いウエハ加工を可能にする最先端のフォトレジスト機器です。フォトレジスト（Photoresist）は、加工前に半導体ウェーハの表面に適用される光感受性材料です。フォトレジストの適用後、ウェーハは光にさらされ、リトグラフィー的にパターン化されたレジストフィルムになります。TEL CS500は、様々な加工作業において優れた性能を発揮します。高解像度のマスク画像転送システムにより優れたパターン分解能を実現し、2インチから6インチまでの幅広いウエハサイズに対応できます。また、2軸ウェーハステージを搭載し、高精度なホルダー位置決めを実現しています。内蔵のモニターにより、同じモニター上でリアルタイムの表示とプロセス制御が可能です。TOKYO ELECTRON CS 500は、高速露光光源で構成され、露光時間の短縮、加工サイクルの高速化を実現するモータ駆動ウェハステージ、高性能な冷却システムを提供します。また、自動露出調整ツールを備えており、精密露出設定が可能です。また、タッチスクリーンユーザーインターフェイスを備えており、処理制御が容易で、CAD/CAMソフトウェアと完全に互換性があります。CS500はまた、ウェーハ環境を維持するために保護された汚染防止傾向、ならびにあらゆるタイプのフォトレジストの適用を容易にするためのプログラム可能な回転資産を備えています。高度なデジタルカメラと光学検査モデルにより、機器は欠陥を簡単に検出し、ユーザーに明確なフィードバックを提供することができます。全体として、TEL CS 500は、優れたウェーハ処理性能を提供できる高度なフォトレジストシステムです。最適な結果を得るための幅広い機能を備えており、あらゆるファブリケーターに必須のユニットとなっています。