中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269642 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、高性能フォトレジスト機器です。TEL CS500は、高解像度とスループットの両方で、要求の厳しい多層プロセスを正確に再現するように設計された多戦略マシンです。これは、高解像度LCDマイクロフォーカス光学、デュアルローディングステーション、スキャンガスインジェクターシステム、および紫外線（UV）照明が装備されています。東京エレクトロンCS 500は、500MHzのLCDマイクロフォーカスオプティクス、デュアルローディングステーション、独自の光学系と同期制御ユニットを備えた高速露出容量を誇ります。これにより、高精度な分解能と線幅制御により、さまざまな単層および多層露光プロセスを効率的に処理できます。さらに、スキャンガス注入ツールは、露光プロセス中の均質性と均一性を確保するのに役立ち、非常に複雑なパターンの精密な処理を可能にします。紫外線照明器は正確に制御することができる広い波長および強度レベルの範囲と来ます。マルチグレースケール、分割露光、多重露光など、さまざまなパターンを正確に再現できます。また、TEL/TOKYO ELECTRON CS 500には高度な自動化アセットが搭載されており、独立した積み降ろしプロセスと正確なアライメントとプロセス監視が可能です。また、多種多様なパターンセットアップとアライメントパラメータを備えているため、さまざまな基板を包括的にカバーできます。全体的に、CS500はコンパクトなフットプリントを備えた高性能フォトレジスト機器です。このシステムは、露出構成、洗練されたオートメーションユニット、正確なパターンセットアップと露出、および以前のシステムよりも大幅に高速な範囲を提供します。これにより、高解像度を必要とする高度なアプリケーションに理想的なソリューションとなります。