中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269638 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500フォトレジスト装置は、半導体製造の高度なプロセスを可能にする高度なリソグラフィーシステムです。このユニットは、フォトマスクを使用して半導体ウェーハを高精度にパターン化するために使用されます。TEL CS500は、チップ加工時に最適な精度と速度を保証する高性能アライメントマシンを備えています。高密度ウエハーの信頼性と均一なパターンを可能にするように設計されています。このツールの精度は、4インチのウェーハサイズの10ナノメートル分解能を備えた高精度のアライメントステージで保証されています。また、ウェーハプロセス情報を管理する高度なデータ制御モデルも備えています。それは正確で、予測可能な性能を保障するために主要な制御装置とインターフェイスします。また、グラフィカルマスクエディタを備えた高解像度デジタルディスプレイを備えており、マスクパターニングプロセスの目視検査が可能です。TOKYO ELECTRON CS 500は、超広い処理範囲のための高度な磁界フリー（MFF）モードも備えています。磁石材料の伝導や永久磁石による歪みを除去することで、高品質な画像を得ることができます。また、ウェーハ全体に均一な照明を提供するために特別に設計された強力な照明ユニットが装備されています。この均一性は、パターン化されたチップ設計を実現するために不可欠です。照明装置は非対称の同軸照明とフィールドレンズを使用して効率を向上させます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON CS 500にはプロセス監視ツールが内蔵されており、各パターンのウエハをリアルタイムで検証できます。このモニタリングアセットは、マスク設計、CD、フォーカスエラーにおける望ましくない歪みなどの問題を検出し、製造プロセスに関するプロセスエンジニアから即座のフィードバックを提供します。全体的に、CS 500フォトレジストモデルは、高度な半導体処理のために設計された高度なリソグラフィ装置です。精度、均一なパターニング、およびプロセス監視を保証する幅広い機能を備えているため、高品質で複雑なチップ設計を作成するための貴重なツールです。