中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269637 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、エッチング処理を正確に制御できる最先端のフォトレジスト機器です。真空紫外線（VUV）光システムを利用して、基板内の線や穴などの断面形状の生成を正確に制御することができます。VUVライトユニットは、ユーザー指定の強度設定に合わせて調整可能で、複数の基板にわたってVUV照射の均一性を高めるマルチフォーカスマシンを備えています。このツールは、さまざまなフォトレジスト材料を使用して、さまざまな基板用の正のタイプと負のタイプの開発者を含む、望ましい結果を達成します。TEL CS500は高度な制御資産により、再現性の高いプロセス結果と高精度なエッチングを保証します。このモデルは、シリコン、ポリマー、金属などの基板におけるラインや穴エッチングの大量処理だけでなく、複雑な形状の作成にも適しています。TOKYO ELECTRON CS 500は、高精度な計量メカニズムと時間制御の開発を行っています。その精密メーター装置のおかげで、それは基質全体のフィルムの厚さの均一性を保障するためにフィルムの厚さを監視しながら化学薬品および露出時間の量を調節できます。東京電子CS500は、パターン開発に伴い、集中度と露光時間を評価・調整できる時間制御型開発システムです。さらに、CS 500には自己診断プログラムが内蔵されており、ユニットとプロセスチェックを実行し、再現可能な処理の設定を記録します。包括的な安全プログラムとともに、TEL CS 500は、潜在的な危険からユーザーとマシンの両方を保護するためのさまざまな安全機能を備えています。放射線やレーザーの安全対策が施されており、厳格な温度、圧力、CO2モニタリングを実施して安全性を高めています。CS500は、フォトレジスト材料の加工とエッチングのための業界標準を設定する堅牢な資産です。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、優れた制御と再現性、包括的な安全対策により、フォトレジストの処理とエッチングに最適です。