中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269635 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、半導体・マイクロエレクトロニクス分野で使用される高性能フォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、高度なイメージングオプティクス、高精度で堅牢なメカニクス、および高度なソフトウェアの組み合わせを利用しています。その結果、非常に堅牢で信頼性の高いプラットフォームであり、幅広いレジスト処理要件をサポートできます。TEL CS500は、Digital Beam Projection （DBP）技術を活用して、基板上のフォトマスクを高精度に露出させます。この技術は、それぞれの構造の均一な露出とパターンの再現性を保証します。さらに、制御された輝度照明と最適化された光学方式を使用して、グレア、空間依存照明、高解像度イメージングを低減し、生産速度を向上させ、歩留まりを向上させます。TOKYO ELECTRON CS 500の最高解像度は、正確な画像をレジスト基板に正確に再現するサブミクロン技術を使用しています。また、薄型樹脂素材（0。2 μ m）に対応し、マルチダイのアライメントレベルの精度で高精度なオーバーレイ機能を備えています。この機能と利点の組み合わせにより、ユーザーは幅広いレジストフォトリソグラフィーアプリケーションに最適なプロセスパラメータを実現できます。CS500の高度なソフトウェアは、ツールの機能をさらに強化します。ユーザーがレジストプロセス中に資産のパラメータや設定を完全に制御できるようにすることで、モデルの精度と信頼性を大幅に向上させ、運用時間を大幅に短縮します。安全・メンテナンスの観点から、CS 500は破片粒子を除去し、汚染のリスクを低減する自動洗浄装置で設計されています。プロセス動作中の偶発的な露出を防ぐために、内蔵の安全インターロックとともに、これらの機能はユーザーの安全性を大幅に向上させます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON CS 500は、先進的な光学系、高精度で堅牢なメカニズム、高度なソフトウェアを組み合わせ、幅広いレジスト処理要件をサポートするプレミアムフォトレジストシステムです。TEL CS 500は、これらの特長を活かし、歩留まりを最大化し、運転時間を最小限に抑えた高精度・高解像度生産を実現します。