中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269632 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、高精度の集積回路やその他の深部サブミクロン構造物を製造するために設計された最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、高解像度のリソグラフィ光学系と大面積の処理能力と組み込みオートメーションを組み合わせており、ユーザーは複雑で高性能な回路パターンを効率的かつ信頼性の高い方法で作成することができます。ユニットの中心にはTEL独自のダイレクトイルミネーションオプティクス技術があり、フォトレジスト層のイメージングに優れた解像度とコントラストを提供します。光学機器には、パターン形状を記録するためのスキャンマスク投影機（SMPS）、顕微鏡付きのカールサスマスクアライナー、XYステージに搭載されたバイナリ（x-tal）レンズ、およびテレセントリックプロジェクターレンズがMA65されています。この光学部品のユニークな組み合わせにより、1 nm RMSの領域で比類のない線幅粗度（LWR）値が得られます。TEL CS500は、パーティキュレート防止機能を備えたフルサーボ駆動のウェーハスタッキングツールや、並列性とサイドアライメント精度を確保する精密ウェーハポジショナなど、ウェーハハンドリングとオートメーションに優れています。これにより、ウェーハを正確に読み込み、イメージングステーションから素早く簡単にアンロードできます。この資産には、制御と操作のためのソフトウェアツールと機能の包括的なスイートも付属しています。露出エネルギー、スポットサイズ、露出均一性、プロセス温度、マスクアライメント精度などのすべてのパラメータは、直感的なコンピュータグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）から正確に制御できます。事前設定されたレシピレシピとユーザー定義プロセスは、ウェーハバッチの迅速なターンアラウンドのためにモデルに保存することができます。TOKYO ELECTRON CS 500は、要求の高い集積回路やその他の先進的なフォトレジスト構造を製造するための高度な機能を備えた高度な装置です。その信頼性と正確なイメージング機能、継続的なオートメーション、包括的なソフトウェアスイートにより、市販のフォトレジスト生産環境に最適です。