中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9269631 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500は、シリコンウェーハ、ガラス、石英材料などの基板上に高精度な回路パターンを作成するフォトレジスト機器です。高速露光時間と高解像度の最適露光領域を利用し、従来の写真プロセスよりもはるかに高い精度で回路パターンを素早く作成できます。このシステムには、照明用のレーザー源、2次元スキャン用のガルボスキャナ、イメージング用の統合化合物顕微鏡などの高度なハードウェア部品が装備されています。TEL CS500は、試料から反射した光を制御することで、フォトレジスト素材を正確に露出させ、望ましい回路パターンを作り出すことができます。このユニットでは、NFS （Near FieldScanning）、 Surface Topography Scanning （Scsts）、 Laser Scanning Microscope （LSM）など、さまざまな照明源を使用できます。これらの異なるタイプの照明により、機械は曲線やその他の複雑な形状などのより正確なパターンを提供することができます。また、東京エレクトロンCS 500は、フォトレジスト素材の露出を制御するプログラマブルなレーザー強度調整や、異なる基板に合わせてカスタマイズした露出パターンを備えています。また、人間工学に基づいた機械設計により、オペレータのストレスや疲労を軽減し、快適で使いやすい装置となっています。CS 500は、高精度で高解像度の回路パターンを生成する能力をユーザーに提供し、製品の精度を高めることができます。異なった照明の選択、プログラム可能なレーザーの強度の調節および機械の人間工学的設計はそれを正確で、精密なパターン化を要求する電子工学の製造業者および他の企業のための貴重な用具にします。