中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS500 #9101357 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS500 Photoresist Equipmentは、半導体業界で使用される多種多様なフォトレジストの開発に使用される先進的なウェハ処理システムです。モーター駆動ウェーハハンドリング、ウェーハレベラー、40°チルトマウントによる真空ウェーハ回転などの先進的な技術を備えています。350-700nmのフルスペクトル範囲と精密なスペクトル制御により、フォトレジストの露出と開発において高精度を実現します。堅牢な機械設計は、自動化されたプロセスシーケンス管理、ウェーハ認識、温度管理、ひずみシミュレーションにより、高スループットを提供します。コンフィギュレーションオプションでは、追加の光源（DUV、 FUV、 POLARなど）とモジュラーコンポーネント（例えば、画像形成システム、反射測定、またはマススペック）を統合できます。このツールは、InGaAs、 GeSe、 SiC、 SiGeなど、いくつかのタイプのシステムから一貫した品質を保証します。マルチポイントグローバル最適化、ノンリニアグリッド最適化、カスタマイズ可能なステップシーケンスなどの高度な自動アライメント機能を備え、フォトレジストの露出と開発に優れた精度と精度を提供します。オンサイト窒素ラインを搭載し、新たな窒素アシスト技術も搭載し、最適な性能を発揮します。この窒素補助高圧露出により、フォトレジスト膜の接着性が向上し、応力が低下します。さらに、この装置は、CCDまたはMAM感度の高いレシピを使用したサブレイヤーイメージングおよびローカライズされたポスト露出ベーキングを提供し、エッチングプロセスの最適化に役立ちます。TEL CS500の柔軟性の高いユーザーフレンドリーなソフトウェアは、パターン認識、自己評価、カスタマイズ可能なジョブ管理をサポートします。GDSIIからCDF、 Xyceまで、さまざまな形式でジョブを管理したり、パターン固有の操作を追跡したりできます。TOKYO ELECTRON CS 500 Photoresist Systemは、半導体用途に適した高度で堅牢なウェーハ処理ユニットです。その正確なスペクトル範囲、窒素補助高圧露光技術、およびカスタマイズ可能なジョブ管理マシンは、CS 500を高精度、信頼性、効率的にレンダリングします。