中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9412551 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、半導体製造用フォトレジスト装置です。このシステムは、ウェーハやパターンメディア上のパターンを開発し、トランジスタなどの微小回路を生成するために使用されます。TEL CS450には、レジストパターンを処理し開発するために一緒に働く統合コンポーネントの完全なスイートが含まれています。コンポーネントには、レジストスピンコーティングユニット、フォトレジストディスペンサー、フォトレジストエディタ、マルチチャンバーレジストプロセスツール、マスクアライナーが含まれます。レジストスピンコーティング機は、ウェーハ表面にフォトレジストの均一な層を適用するように設計されています。フォトレジストのこの層は、パターンを作成するために、紫外線の異なる波長にさらされます。露出後、フォトレジストディスペンサーは、望ましいパターンのフォトレジストを基板に分配し、マイクロサーキットを開発します。フォトレジストエディタは、高解像度のためのマスクパターンの精密編集と最適化を可能にします。また、既存のマスクパターンのライブラリを使用して、目的の仕様に正確に一致する新しいデザインを生成することもできます。マルチチャンバーレジストプロセスツールは、その後のフォトリソグラフィ工程に理想的な環境を提供します。異なる光源に対応し、ウェーハ表面での同時パターン開発が可能な複数のチャンバーを備えています。また、TOKYO ELECTRON CS 450にはマスクアライナーが搭載されています。このツールは、複数の基板上にパターンを整列させるように設計されており、より大きな領域にわたってより均一な結果を得ることができます。マスクアライナーは、プロセス間でウェーハを移動する際のエラーを低減するのにも役立ちます。最後に、CS450は正確で効率的な結果を得るために最適化されています。高精度を保ちながらレジストパターニングプロセスを自動化するために設計された複数の統合コンポーネントを備えています。その結果、TOKYO ELECTRON CS450は、厳しい公差と一貫した性能で結果を出すことができます。