中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9411470 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipmentは、高精度フォトレジスト用途向けに設計されたフォトリソグラフィーシステムです。このユニットは、高度な半導体製品やその他のハイエンド電子部品の製造に必要なサブミクロン機能の精密パターンを作成することができます。TEL CS450は、最大200mmの大型基板をサポートする深紫外線均一照明器を備えています。また、正確な位置決めとアブレーションのための二軸プログラマブル電動機を備えています。高解像度のプロジェクションオプティクスにより、基板を最大0.05µm分解能で露出させることができます。このツールはまた、流量650cc/minの7段の圧力ろ過アセットと、元の画像パターンの最適な均一性を達成するための0.1MPaの総圧力を備えています。さらに、窒素パージは粒子汚染を低減するのにさらに効果的です。このモデルは、ユーザーフレンドリーなインターフェースで操作しやすく、ウェハレベルの統合、フォトマスクパターニング、およびその他の微細加工プロセスなど、幅広いデバイスコンポーネントを生成するために使用できます。また、表面測定や欠陥検査などの高度な検査および計測ツールが付属しており、完璧なプロセス性能を保証します。すべてを同じ機器内に統合することで、ユーザーは高精度のマイクロコンポーネントを保証することで、再現性と信頼性の高いフォトレジストプロセスを迅速かつ簡単に実行できます。また、独自の画像歪み補正アルゴリズムを備えた高度な照明制御モジュールを備えており、フォトレジスト材料への正確かつ一貫した露光を可能にします。これにより、故障率を低減し、生産効率を最大化することで、最適な最終製品を確保することができます。TOKYO ELECTRON CS 450フォトレジストユニットは、高度な電子部品を製造するための信頼性の高い厳格なフォトレジストプロセスをユーザーに提供するように設計されています。その汎用性の高い機能性、包括的な機能性、信頼性の高いパフォーマンスにより、高精度フォトレジスト操作に最適なソリューションです。