中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9393333 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、半導体製造に使用される先進的なフォトレジスト機器です。TEL CS450は、集積回路（IC）デバイスの非常に精密な物理的、電気的、光学的特性を実現するのに理想的です。フォトレジストの薄層で部品や基板を素早く均一にコーティングする完全自動化システムです。フォトレジストは、ICデバイスの表面にパターンを作成するために使用される感光材料です。最初に均一な薄い層に塗布され、次にレジストに光のパターンを形成する写真マスクを使用して紫外線にさらされます。レジストは、露出した領域で硬化することによって光と相互作用します。その後、硬化した露出した部分は、マスクのパターンを残して洗い流すことができます。東京エレクトロンCS 450は、フッ化水素（HF）蒸着とスピンコーター技術を組み合わせ、フォトレジスト用途に優れた薄層接着性を提供します。スピンコーターは、均一な厚さのコーティングを施すためにも使用され、プロセスが再現可能な結果を生み出すことができます。CS 450ユニットには、周辺制御ボード、セントラルコントローラ、および自動化された真空ベースの化学供給機が含まれています。ペリフェラル制御ボードはツールの自動制御に使用され、中央コントローラは全体的な操作を制御する責任があります。ケミカルデリバリーアセットは、開発者、活性剤、リムーバーなどの化学物質の正確な投与量を基板に確実に供給します。CS450は、10インチと12インチのウェーハ処理能力を備え、調整可能な基板ホルダーを備えています。このモデルは、2「から12」までのウエハサイズの範囲を処理できます。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450は、電動スピンコーターを内蔵したフォトレジストの高速適用も可能です。TEL CS 450は、複数のウエハサイズに対応できるだけでなく、最大24個のウエハーを一度に処理することができます。これにより、装置は大規模な生産目的に最適です。また、TOKYO ELECTRON CS450は、自動化されたプロセスを容易に変更したり、特定のニーズに適合させることができる高度な構成が可能です。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、ICデバイス上で正確なパターン形成を行うために設計された自動フォトレジストシステムです。先進のHF蒸着技術とスピンコーター技術を組み合わせた真空ベースのケミカルデリバリーユニットで、優れた薄層接着性と均一性を実現しています。TEL CS450は、複数のウエハサイズをサポートし、大規模な生産のための自動化されたプロセスで高度に構成可能です。