中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269625 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、微粒子吸収法を利用した高解像度処理を可能にするフォトレジスト装置です。フォトレジストは、基板上にパターンを作成するために使用される光感受性材料です。TEL CS450システムは、有機溶媒中に分散したチタンケイ酸塩粉末の微粒子を使用して、露光領域の定義領域にわたって真空を作成する独自の方法を採用しています。レーザー光を印加すると、粒子が光を吸収し、ウェーハ上に画像を作成します。TOKYO ELECTRON CS 450は半導体製造向けに設計されており、0。3 μ mという小型の機能を実現しています。フォトレジストコーティングや露出において、高い露出均一性と高速性を実現します。このマシンは、露出パラメータとプロセスを正確に制御することができ、優れた歩留まりを備えた大量生産に最適です。このツールは、時間の経過とともに信頼性と一貫した結果を保証するように設計されており、パフォーマンスを確保するために定期的に監視されます。TEL CS 450は、ダイレクトライトeビームリソグラフィ、高度なパッケージング、高解像度フォトレジストパターニングを必要とするその他のアプリケーションなど、多くのアプリケーションに適しています。このアセットは物理蒸着機能を統合しています。コーティングプロセスには、基板トランスファーチャンバー、プレコートチャンバー、ポストコート、制御ステーション、ウェーハクリーニングステーション、ガスインジェクタが含まれています。さらに、CS 450は窒化物、誘電体、金属に対して180°Cまでの基板温度が可能です。また、温度、時間、圧力、厚さのプロセスウィンドウも備えており、処理層ごとに調整することができます。さらに、CS450は、最高水準の一貫性を満たす短いサイクルタイムで優れたプロセス特性を提供します。この装置は低熱負荷を備えているため、処理の熱予算が高くなり、コストの削減と速度の向上に役立ちます。最後に、システムの使いやすいインターフェースにより、ユーザーフレンドリーで効率的です。