中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269623 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipmentは、基板上のフォトレジストパターン形成と薄膜パターニングの評価用に設計された多機能評価ユニットです。TEL CS450システムは、露出、開発、レジストリフロー、露出後ベーク（PEB）プロセスの高度な制御と独立した管理を可能にします。有機、液晶ディスプレイ、フォトマスクなどの半導体デバイスの製造に使用されています。TOKYO ELECTRON CS 450ユニットは、フォトレジストを基板上に簡素化、高速化、精密加工するために独自のアルゴリズムでプログラミングされた高度な制御モジュールを備えています。露光モジュールはフォトリソグラフィ波形を制御し、フォトレジスト層に高コントラストと低ストレスを印加することができます。さらに、フォトレジスト層に特殊な加熱温度を適用できるレジストリフローマシンを搭載し、より厚く均一な蒸着が可能です。さらに、CS 450ツールには、被曝線量、開発時間、PEB条件などの重要なパラメータを評価し、基板上のフォトレジストの最適なパターニングを実現する自動プロセス最適化機能が装備されています。この最適化機能は、実験中のヒューマンエラーの数を大幅に削減し、全体的な生産性を向上させます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON CS 450アセットは、モニタリングおよびロギング機能を高度化し、オペレータがレジスト処理プロセス全体を追跡できるようになり、フォトレジストが仕様に従って適用されるようになりました。CS450モデルは、画像転送に信頼性と費用対効果の高いソリューションを提供するため、電子部品の大量生産などの産業用途に最適です。