中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269614 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、フォトリソグラフィ、異方性エッチング、等方性エッチングなど、優れたモータ性能で優れたレジストパターニング品質を実現するフォトレジスト機器です。TEL CS450は、インラインフルサイズのベーキングチャンバーを備えた半自動プラットフォームを使用しており、ローディングあたり最大15ウェーハの生産スループットを実現します。また、デジタル画像処理機能も充実しており、フォトリソグラフィープログラムで使用することができます。さらに、4ステッピングドライブモーターを搭載し、レジスト注入や基板位置やアライメントを正確に制御します。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450は、ユーザーが簡単にさまざまなフォトリソグラフィ工程を実行できる高度なプロセスシステムを備えています。また、高精度X、 Y、 Z、回転運動を行うことができる4軸移動輸送制御ユニットを装備しています。TEL CS 450は、基板上に均一な表面コーティングを誘導する高精度スピンコートマシン、多層蒸着用の高度な3パルススパッタリングプロセス、基板洗浄用のレーザー表面アブレーションプロセスを備えています。さらに、このツールは高度な反射防止コーティング機能を備えており、最高のパターン品質を達成するのに役立ちます。CS450には、統合された環境制御システムと静電気による問題の防止に役立つPVCフリーコンベアベルトも装備されています。また、コンパクトなデザインと小型フットプリントが特徴で、ユーザーは資産を活用しながらスペースを節約することができます。これらの機能を備えたCS 450は、信頼性の高い安全なフォトレジストモデルをユーザーに提供します。