中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269608 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、TEL （TOKYO ELECTRON）が半導体製造用に設計したフォトレジスト機器です。このシステムは、主に感光性化学薬品、ほとんどの場合フォトレジストを半導体基板の表面に堆積させ、デバイス製造におけるパターン化された層を作成するために使用されます。このユニットは、半導体デバイスの生産サイクル中に発生する顧客の需要とプロセス技術の変化に迅速に対応することができ、完全に自動化された柔軟なツールです。TEL CS450機は、フォトレジスト加工チャンバ（PPC）、液体搬送ツール、ソフトウェアコントローラなど、いくつかの主要部品を使用しています。PPCには、溶液搬送用に接続された2つのタンクを備えた直接蒸着およびフォローアップ資産である蒸着ユニットが含まれています。PPCの設計により、温度、照明、溶液組成を正確に調節し、均一で高解像度のパターンを確保できます。液体デリバリーモデルは、フォトレジストを貯蔵タンクから蒸着室に輸送するために使用されます。ソフトウェアコントローラは、機器の遠隔監視と制御を可能にするグラフィカルユーザーインターフェイスです。また、堆積パラメータのリアルタイム表示も含まれており、フォトレジストコーティング処理中に必要に応じて設定を調整することができます。コーティングフォトレジストに加えて、フォトレジストストリップ、プレベイク、開発などの処理が可能です。廃棄物を最小限に抑えながら、様々な液体化学物質に容易に対応できる精密な投与ユニットを備えています。また、蒸着チャンバ内の汚染レベルを低く保つための高度な洗浄技術を使用しています。CS 450ツールをより大きなプロセスラインに統合することで、スループットと生産性を向上させることができます。この資産は安全規制に従って設計されており、ステンレス製のIPX-7エンクロージャがあります。これにより、環境要因からの高い保護が保証されます。TEL CS 450モデルは、最適な微細加工結果を得るために、迅速な加工時間と正確な制御が必要な作業に最適です。高精度の蒸着と高度なソフトウェアコントロールにより、現在入手可能な最先端のフォトレジストシステムの1つです。