中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269606 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、シリコンウェーハや薄膜などの基板の高精度エッチングやパターニングを行うフォトレジスト機器です。最新の最先端技術と設計原理に基づいた先進的なシステムです。TEL CS450には、フォトレジストプロセスで使用される最先端の感光性化学物質であるDiamond-Like Carbon Source Unit （DLCS）が搭載されています。DLCSは、レーザー誘導された高強度の電子ビーム蒸発源であり、ミクロンスケールで正確に制御された化学物質の線量を生成することができます。DLCSは、ビームコリメーション、エネルギー安定化、光吸収などの高度な光学機能も備えています。また、DLCSにさらされた後の基板の洗浄、再調整、乾燥のための高度なツールである基板処理機（STS）も搭載しています。TOKYO ELECTRON CS 450は、シリコン、クォーツ、サファイアなどの各種基板に対応しています。このアセットは、最大50ミクロンのエッチング深度と最大300 nmのライン幅で、ライン、ドット、およびその他の形状のエッチングとパターンを精密に制御することができます。エッジラウンディング、レーザスクライビング、ラインシェーピング、充電蓄積など、さまざまな機能をモデル内で自動化することができ、手で行うよりも高い精度を提供します。この装置は、バイオセーフティと運転効率を提供するようにも設計されています。これは、ユーザーがリモートでプロセスサイクルとパラメータを制御することができ、統合されたコントローラが付属しています。これは、ユーザーが基板の汚染や損傷のリスクを低減し、エッチングおよびパターニングプロセスが精度と品質で実行されることを確実にすることができることを意味します。また、作動時の過熱を防ぐ熱保護や、加工時の基板表面の急変を防ぐ振動監視などの安全機能も備えています。CS 450は、エッチングとパターニング機能の包括的な範囲を提供しています、エッチングの深さとライン幅の調整、高精度ラインシェーピング、エッジ丸め、レーザスクライブ、および充電蓄積など。さらに、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、有機発光ダイオード（OLED）、プリント基板（PCB）、無線周波数（RF）デバイスなど、あらゆるフォトレジスト構造を製造することができます。半導体、ディスプレイ、センサーなど幅広い用途に最適です。