中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269605 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、TEL （TOKYO ELECTRON）のフォトレジスト機器です。このシステムは、高精度と再現性を提供し、様々なフォトリソグラフィ用途に設計されています。TEL CS450は、4インチウェーハから450mmウェーハまでの大型基板加工が可能です。これは、迅速な納期と最小限の化学使用量を提供し、多くの生産環境にとって費用対効果の高いソリューションとなります。TOKYO ELECTRON CS 450は、最小限のメンテナンスで再現可能な精度を実現する高度な光学技術を使用しています。それは大きい基質を渡る安定した照明を提供する大きい均等性およびクワッドの線形ミラー（QLM）とライトを投影するテレセントリック投影レンズを含んでいます。ユニットは、アプリケーションの特定の要件に応じて、TEL/TOKYO ELECTRON RC-STEPまたはRC6000の2つの異なるアライメントシステムで構成することができます。CS450には、粒子を減らすためのいくつかの重要な技術、特に特許取得済みの膜ガスケットとウェーハ上の粒子を確実に含む粘着性のあるマットも含まれています。これにより、困難な基板でも高いスループットと歩留まりを実現します。内部空気のろ過は光学要素の粒子の蓄積を防ぎ、きれいな空気だけが機械内で流れていることを保障します。高精度に加えて、TEL/TOKYO ELECTRON CS 450は柔軟性が高く、一般的なフォトレジスト、透明フィルム、その他の光学材料など、幅広い材料を処理できます。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、ユーザーは新しいプロセスを素早くセットアップし、既存のプロセスを解除することができます。これにより、要件の変更や異なる生産方法に対応することが容易になります。TOKYO ELECTRON CS450は、高速、正確、効率的なフォトリソグラフィのための理想的なソリューションです。多くの機能と革新を備え、最高レベルのパフォーマンスと柔軟性を提供します。非常に構成可能で費用対効果に優れたTEL CS 450は、あらゆるフォトリソグラフィ用途に最適です。