中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269604 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、半導体製造に使用されるリソグラフィーマスクを作成するために設計された技術的に高度なフォトレジスト機器です。このシステムの主な目的は、回路図のパターンを極端な精度でフォトマスクに転送することです。このユニットには、高解像度の投影光学、精密なステージとモーションコントロール、高効率でクリーンなプロセスチャンバー、洗練されたクローズドループ制御アルゴリズムが組み込まれています。これらの機能により、画像から画像への登録精度が向上し、ナノメートルレベルのリソグラフィに欠かせないツールとなっています。TEL CS450機は、1600x1200 DPI 14ミクロン分解能のライトエンジンを搭載し、優れた画質と精度を提供します。この軽いエンジンは+/-15umの3面の登録の正確さを得ることができる300mm正方形の基質X-Yのステージングツールと結合されます。この精度により、ウェーハ全体でパターンを正確にイメージすることができます。また、ガス清浄度制御ユニットや二酸化炭素ドライポンプ装置と一体化した最先端の真空モデルも搭載しています。この真空システムは、チャンバーが処理中にきれいで不活性なガスのみを含んでいることを保証し、高い歩留まり性能を保証します。さらに、高精度な操作を実現するために設計された高度な制御システムやアルゴリズムを幅広く搭載しています。これらの制御システムの1つは、ステージがサブミクロン精度で正確にウェーハを配置することを可能にする高度なモーションコントロールです。また、ビーム制御と露出校正のための高度なアルゴリズムも備えており、リソグラフィックマスクの正確な露出と焦点を確保するのに役立ちます。最後に、マシンは、操作とメンテナンスのための便利な環境を提供する包括的なユーザーインターフェイスを備えています。すべてにおいて、CS 450は非常に高度なフォトレジストツールであり、極めて正確で信頼性の高い精密なリトマスクを作成することができます。高解像度軽量エンジン、高度なモーションコントロール資産、高度な制御アルゴリズム、および包括的なユーザーインターフェースにより、ナノレベルのリソグラフィにとって非常に貴重なツールとなり、その機能はあらゆる半導体製造アプリケーションに最適です。