中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269602 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、ハイエンド半導体デバイス加工向けに設計された高性能フォトレジスト装置です。TEL CS450は高度なリソグラフィ技術を使用しており、高度なフォトレジストシステムを使用して正確なパターン変更を実現します。TOKYO ELECTRON CS 450の特長は、高解像度コーティングです。フォトレジストの薄膜を精密かつ並行してコーティングする最先端のコーターを搭載し、ハイエンド半導体の量産に最適です。接触圧力、回転、基板速度などの蒸着パラメータを制御することにより、高精度な薄膜コーティングを実現します。プロセスチャンバーの温度も正確に調整され、フォトレジストが正確に蒸発し、光強度の変化を適切に解釈するために硬化します。東京電子CS450には、照明プロセスのための高度なエネルギー源も備えています。ULD （Ultraviolet Laser Diode）技術を利用して、フォトレジストの露光プロセスに最適なエネルギーを提供するインチャンバーレーザーユニットを備えています。これにより、従来の露出源と比較して、より高速なウェーハ露出と高いスループットを実現します。ULD Technologyはレーザーの均一な出力のために調節なしでさまざまなパターンの速く、信頼できる露出を保障します。TEL CS 450は、超クリーンな環境も備えています。Class 10000 （Class 1）クリーンルームは、粒子の汚染がない環境を提供するため、半導体デバイスに必要な超清浄条件を保持します。さらに環境の清潔さを維持するために、CS 450には多数のマイクロフィルターとバックポンピングシステムが装備されています。全体として、CS450はハイエンド半導体デバイスの大量製造のために設計された信頼性の高い高度なフォトレジスト機械です。高解像度コーティングプロセス、信頼性の高いエネルギー源、超クリーンな環境により、高品質で高精度な半導体デバイスの製造に最適です。