中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269600 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipmentは、精密なフォトレジスト塗装用に設計された堅牢な装置です。基板への特定材料のコーティングが可能であり、フォトリソグラフィ工程における大規模装置の製作が可能です。単位の中心にフォトレジストのコーティングのためのエネルギーを提供する二酸化炭素レーザー源があります。他のフォトレジストシステムとは異なり、TEL CS450機にはデュアルレーザーソースが装備されています。このデュアルレーザーツールは、基板を均等に被覆するために必要なエネルギー量を最小限に抑え、廃棄物や汚染を低減するように設計されています。アセットにはクローズドループのファシリティプロセスも含まれており、感光材料を継続的に監視して再現可能な結果を得ることができます。このクローズドループモデルは、基板の均一性を可能にし、結果の精度を高めます。東京電子CS 450フォトレジストシステムには、レーザー光源やプロセス制御装置に加え、様々なアプリケーターが搭載されています。これらのアプリケータは、基板上のソース材料の正確な位置決めを可能にします。アプリケータは、感光材料の異なるタイプに対応するためにノズルの範囲を持っています。これにより、基板上の正しい位置に正しい材料が適用されます。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450は、PM3Dスキャンヘッド技術も搭載しています。この高度なスキャン技術は、感光性材料を基板に迅速かつ正確に堆積させるように設計されています。この技術は、3次元スキャンを伴うため、基板上の感光材料の非常に正確なコーティングが可能です。最後に、TOKYO ELECTRON CS450マシンには、ユーザーがツールを操作しながら安全を維持するためのさまざまな安全機能も含まれています。安全機能としては、緊急停止スイッチ、レーザー安全シールド、および感光材料の汚染の可能性から保護するためのダブルドアロックがあります。全体として、CS 450 Photoresist Assetはフォトリソグラフィープロセスにおいて非常に貴重なツールです。レーザーソース、プロセスコントロールモデル、アプリケーター、PM3Dスキャンヘッド技術を組み合わせることで、各種基板に精密かつ再現性のあるフォトレジストコーティングを可能にします。安全機能と組み合わせると、CS450機器は大規模なデバイス製造に最適です。