中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269598 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、ウェーハなどの基板に感光材を成膜し、表面にパターンやレイヤーを作成するために様々な業界で使用されている先進的なフォトレジスト機器です。システムは、感光材料の均一な層のパターン化と沈着のための自動化された段階を備えた完全統合ユニットです。このユニットは、機械内のウェーハを正確にアライメントするための高精度マイクロポジショニング技術と、正確で再現性のある結果を得るための組み込みフィードバック制御ツールを使用しています。アセットの集積成膜モジュールには、デュアルビーム電子ビームイメージング、コンビネーションレーザジェットイメージングモデル、および連続した高速レジストコーティング装置が含まれています。デュアルビーム電子ビームイメージング（EBI）は、1マイクロメートル以下の繰り返し精度で非常に高解像度の画像を効率的に生成します。これにより、加工時間を最小限に抑えながら、正確なパターニングと成膜を実現します。レーザージェットイメージングシステムを組み合わせることで、露光時間を短縮しながら、詳細なパターンやラインを作成できます。連続、高速レジストコーティングユニットは、ハイラインエッジコントロールで様々なレジストパターンで均一なレジストカバレッジを提供します。TEL CS450には、オフラインサポートマシン、ジョブスケジューリングツール、高度なウエハハンドリング機能など、さまざまな高度な機能を搭載できます。オフラインサポートアセットを使用すると、ユーザーは特定のニーズに合わせてモデルをカスタマイズできます。ジョブスケジューリング装置は、特定のルーチンジョブに合わせて調整することができ、手作業の時間を短縮し、効率を高めることができます。さらに、高度なウエハハンドリング機能により、ウェハーをコーティングモジュールから硬化ステーションに正確に移動させることができ、スループットが向上します。TOKYO ELECTRON CS 450はパワフルで汎用性の高いフォトレジストユニットで、多くの産業や用途に適しています。優れた解像度と高精度の結果を提供し、処理時間を短縮して効率を向上させる機能を備えています。このオールインワンマシンは、感光材料の正確なパターン化と成膜を必要とするプロジェクトに最適です。