中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269597 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、半導体ウェーハ上に微細構造を作成するプロセスを自動化するフォトレジスト装置です。このシステムは、特殊露光ランプ、回転ウェーハステージ、ガスパージユニット、およびウェーハを迅速かつ正確に処理するための真空装置で構成されています。メタルハライドランプの露光ランプは、微細構造の正確なイメージングのために波長351nmの短波紫外線を放出します。ランプの波長と照度は、特定の露出レベルに設定することができ、正確で一貫したイメージングを可能にします。回転ウェーハステージは、1800rpmでウェーハを回転させ、ユーザー定義の単位で露出時間を設定するモータ駆動のターンテーブルです。ステージには振動減衰機構があり、スムーズな動作と正確な位置決め精度を保証します。これにより、ウェーハ上に微細構造を正確に配置することができます。ガスパージツールは、フォトレジスト加工に必要な高真空レベルを実現するために使用されます。特殊な高効率ターボ分子ポンプは、プロセスチャンバーの必要な真空とスクラブを提供します。これにより、処理中にチャンバーに汚染物質が導入されないことが保証されます。真空アセットは、複数のセンサーを備えたクローズドループ型で構成され、各プロセスチャンバーの圧力、温度、および部分圧力を監視します。この装置は真空を正確に制御することができ、フォトレジストシステムの正確な動作を可能にします。全体的に、TEL CS450はフォトリソグラフィ処理のための信頼できるツールです。高度な露光ランプ技術、洗練されたウェーハステージ制御、および精密な真空ユニット制御を組み合わせることで、半導体基板の微細構造を正確に製造することができます。