中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269596 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、業界規模の半導体製造プロセスで使用するために設計されたフォトレジスト機器です。TEL CS450は、フォトレジストをウェーハに正確かつ再現性のある信頼性の高いアプリケーション用に設計された完全自動化システムです。このユニットは、ポジティブ・トーン・フォトレジストとネガティブ・トーン・フォトレジストの両方を自動化された精度で処理できます。このマシンは、ウェーハ表面をスキャンする特許取得済みのレーザーセンサーセットを使用し、厚さ、線幅、幅の均一性を事前に定義したレイヤーにフォトレジストを適用します。このツールは、さまざまな高度な技術を統合しています。TOKYO ELECTRON CS 450はフォトレジストの応用を3段階で自動化します。スピナー、レーザー作家および温度調節器に抵抗して下さい。レジストスピナーは、ウェーハを回転させ、フォトレジストを均等かつ正確に塗布し、初期塗布段階を行います。レーザーライターは、ウェーハの表面にエッチングするパターンを適用します。これは、特定のパターンを引き出すためにコヒーレント光を放射する一連のレーザーを使用して行われます。最後に、温度コントローラは、フォトレジストの一貫した再現性を確保するために、チャンバー内およびウェーハ全体で安定した温度を維持することが求められます。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450は、アプリケーションプロセスにおいて最高レベルの精度、信頼性、均一性を保証するため、複数の高度な自動システムを搭載しています。これには、資産のすべてのコンポーネントが各操作を実行する前に正しく機能していることを確認する「自己評価」と、潜在的なエラー源を検出して補償できる自動フィードバックモデルが含まれます。さらに、洗練されたフィルタリングシステムは、各プロセスを開始する前に空気から汚染物質を除去します。TOKYO ELECTRON CS450は、最先端のナノテクノロジー機器の製造に使用されてきた実績と信頼性の高い機器です。その先端技術は、半導体デバイスの製造におけるフォトレジスト用途のための効率的でユーザーフレンドリーなソリューションを提供します。