中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269591 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450 Photoresist Equipmentは、高度なリソグラフィープロセスのための強力でユーザーフレンドリーなレジスト処理システムです。TEL CS450は、一貫性と精度を考慮して設計されており、次世代半導体技術の複雑なパターニング要件に対応できます。このユニットは、深紫外線（DUV）や極端紫外線（EUV）リソグラフィなどのアプリケーションに対応し、シングルおよびダブル露光ステップを備えています。TOKYO ELECTRON CS 450は、化学的に増幅された負のトーンフォトレジストを使用するように設計されています。この機械の先進的なスピン技術は、プロセスの可変性を最適化し、より小さなパターン設計でも優れた均一性と生産性を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON CS 450は、マシンビジョンを一体化し、欠陥の自動検査と識別を可能にします。TEL CS 450にはプロセスパラメータ設定がプログラム可能です。これにより、正確で反復可能な結果が得られます。このツールは手動または自動モードで操作できます。自動モードは、複雑なレジスト構造であっても、迅速で再現性のあるレジスト処理に使用できます。この資産はまた、優れた温度制御を提供します。プロセス温度は5から80°Cまで正確に制御することができ基質のtemeratureは5と60°Cの間で維持することができます。オプションの高速サーマルゾーニングも利用可能で、小型ジオメトリウェーハの処理に必要な時間を大幅に短縮できます。このモデルには、簡単で直感的な操作を可能にするインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれています。また、ユーザーがカスタマイズしたレシピを作成し、東京電子CS450データベースに保存できるレシピエディタも用意されています。ユーザープロンプトは直感的で、操作がより簡単で使いやすくなります。また、高性能レジストトラッキングシステムが内蔵されており、プロセス結果をリアルタイムで監視できます。これにより、オペレータはレジスト処理のさまざまな段階で発生する可能性のあるバリエーションを修正できます。全体的CS450、フォトレジストユニットは、高度なリソグラフィープロセスのための強力でユーザーフレンドリーなレジスト処理機です。その高度なスピン技術、温度制御設定、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、リアルタイムレジストトラッキングツールは、優れた均一性とプロセス安定性を提供します。この資産は、ユーザーに比類のない精度と再現性を提供し、最も困難なプロセス要件に対処することができます。