中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9267387 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS450は、高精度なパターン操作が可能なフォトレジスト装置です。このシステムは、リソグラフィ、スピンオンコーティング、ウェハプロセス開発などのプロセスを正確かつ効率的に実行するように設計されています。高度なサーボ制御機能により、細かいパターニングまで実現できるなど、多彩な機能を備えています。コンパクトで高効率な設計で、リソグラフィ環境に簡単に組み込むことができます。その直感的なユーザーインターフェイスは、操作とメンテナンスを便利にします。それは長い働くガスの寿命を可能にする高度の光学機械が装備されています。高い送り速度で最適化された数値制御は、所望のパターンを達成するために必要な時間を短縮します。このツールは、困難な基板でも優れた抵抗機能を提供します。3種類の処理が可能です。手動リソグラフィ、溶解タイプおよび無電解めっき。これらのプロセスはすべて、高精度と高速の組み合わせで実行され、望ましい結果を得ることができます。アセットの監視および制御機能により、温度、湿度、およびチャンバー圧力を正確に監視および制御できます。これにより、コーティングプロセスとレジストプロセスの両方に理想的な作業環境が保証されます。このモデルには、高度なプロセス開発に最適なさまざまな機能が搭載されています。最適化された圧力と温度制御を備えた先進的なスピンオンコーティング装置など、さまざまな機能を提供します。また、レシピステップの増加を提供します。、ユーザーがさまざまなコーティングやパターン操作を実行することができます。。TEL CS450は、スピードと手軽さで正確なパターニングを実現するために設計された高度なフォトレジストシステムです。その多目的な特徴セットはそれを産業および研究の設定の高度プロセス開発のための理想的な選択にします。このユニットは、さまざまな基板にわたるリソグラフィー、成膜、エッチングなどの用途に使用できます。直感的なユーザーインターフェイス、高度な光学マシン、および制御機能の向上により、高精度で繰り返しのプロセスサイクルを必要とするアプリケーションに最適です。