中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399469 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、マイクロエレクトロニクスリソグラフィープロセスを強力かつ正確に制御するフォトレジスト機器です。システムの特徴は、サブミクロンの機能分解能を備えたリソグラフィー層の迅速な処理を可能にします。この単位は抵抗のコーティングの均一性を改善するために空気の真空のチャックと働きます。プラットフォーム自体は、レジスト層の一貫性のある厚さを確保するために、クローズドループ制御を中心に設計されています。機械はまた抵抗の沈殿プロセスの間の露出された区域のレベルを良質プロセスに終って監視します。また、対象回路の欠陥パターンに応じて、露出の長さもツールによって自動的に調整されます。このアセットは、高解像度ディスプレイと自動フィルムオーバーラップ機能を備えた光学投影モデルを使用しています。さらに、TEL CS-600プラットフォームは簡単にアップグレード可能で、ユーザーはリソグラフィのニーズに合わせて機器の機能をカスタマイズすることができます。このシステムには、使用されているレジストの式と開口部の深さを正確に制御するための開発者機構も含まれています。これはいくつかの独自のアルゴリズムを使用して行われます。さらに均一性を高めるために、クリーナー&トラッキングユニットがこのプラットフォーム内に統合され、リソグラフィのパフォーマンスを監視および調整します。オンボード診断は、プロセス中の問題を特定し、修正するのに役立ちます、結果がユーザーによって設定された正確な仕様に準拠していることを確認するために。最後に、TOKYO ELECTRON CS-600は、ユーザーが偶発的な活性化や不適切な露出に対して最大限の安全性のためにマシンを事前にプログラムできるように、多くの安全機能を備えて設計されています。さらに、プラットフォームは自己監視を行い、ツールのすべてのコンポーネントが適切に機能していることを確認します。フォトレジストアセットCS-600、マイクロエレクトロニクスリソグラフィープロセスを強力かつ正確に制御し、サブミクロンの機能分解能を備えたリソグラフィー層の迅速な処理を可能にします。この信頼性の高い、アジャイルモデルは完全にアップグレード可能であり、最高品質のリソグラフィ結果を保証するための診断、追跡、および安全機能が付属しています。