中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399468 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、高精度でパターニングするための総合的かつ先進的なソリューションを提供するフォトレジスト機器です。このシステムは、最高レベルのパフォーマンス、安全性、信頼性を備えた完全に自動化されたプロセスフローを提供するように設計されています。このユニットは、高度なリソグラフィーツールとプロセスを組み合わせており、最高の歩留まりで正確なパターニングを可能にします。TEL CS-600には、フォトアライメントマシン、スキャナー、ニードルラック露出ツール、2つのチャンバー、2つのベーキングステーションが含まれています。フォトアライメントアセットは、フォトマスクと基板の正確なアライメントを提供します。これにより、最も効率的なパターン作成が可能になり、非常に高い歩留まりが保証されます。スキャナは、高性能の光学系を使用して、キャプチャしてフォーカスし、ウェーハにパターンを投影して繰り返します。ニードルラック露出モデルは、2つの露出ヘッド、ディスペンスヘッド、フォトレジストのパターンを描くために使用される小さな針のセットで構成されています。2つのチャンバーは、フォトレジストを適用し、レジスト材料を開発して除去するために一連の作業を行います。最初のチャンバーは分散タンクを保持し、フォトレジストを混合して基板上に分配します。チャンバーには、抵抗器がパターンにさらされ、発展することを可能にするシャッターも含まれています。露出後、ウェーハは空力ドライヤー、排水汚染装置、化学除去チャンバーを備えた第2チャンバーに転送されます。ベーキングステーションも高度に自動化され、東京電子CS-600システムに統合されています。ベーキング中は、フォトレジストの均一な硬化と安定性を確保するために、温度制御環境が維持されます。ベーキングステーションは、エッチング、エッチバック、切断などの他のプロセスでも使用できます。CS-600は、ラピッドプロトタイピングと高度なマイクロファブリケーションプロセス用に設計されています。これは、他の機械と組み合わせて使用する場合、3D印刷プロセスに特に効果的です。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600が提供する高度なリソグラフィープロセスと自動化されたプロセスの組み合わせは、技術的に複雑な製品を生産するためのより効率的で信頼性の高い高性能な方法を提供します。