中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399466 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipmentは、5ミクロンのデバイス製造の生産性と精度を最適化するために設計されたハイエンドのフォトリソグラフィ処理システムです。最先端のイメージング技術を搭載したTEL CS-600 Photoresist Unitは、5 μ m未満のアレソリューションで最小の機能を正確に処理できます。このマシンはまた、複数の露出の高い反復速度を備えており、回路パターンと機能の大量生産を可能にします。TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Toolは、高速イメージャ/スキャナとオートフォーカサーを搭載し、露出間の素早い遷移で高スループットを実現します。統合された光学アライナーとアライメントモニタは絶妙な精度と精度を提供しますが、アセットのリダクションスキャン機能により、最高のラインを5ミクロンの幅まで生産できます。このモデルには、高速ウェーハ交換用のプログラマブルチャックも付属しています。CS-600フォトレジスト装置は、複数のフォトレジストとアブソーバを処理できます。さまざまなコイル径やデバイスのサイズに使用されるプロセスレシピに基づいて、適切な材料をさまざまなデバイス生産要件に使用できます。このシステムは、お客様の特定のニーズに合わせて汎用性の高いフォトリソグラフィ生産セルを作成するための互換性のあるプログラムを提供します。このユニットの内蔵真空/圧力/クーラントモジュールは、真のプロセスの柔軟性と安定性を提供しますが、フルカセット-カセット間のローディングとアンロード機は、低い所有コストで生産性を向上させます。このマシンは完全に自動化され、高性能の測定および計測パッケージでサポートされており、比類のないプロセス制御を提供します。さらに、このマシンは他のTEL機器と容易に統合でき、お客様のデバイス生産要件の特定のニーズを満たすために拡張可能なソリューションを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Toolは、5ミクロンのデバイス製造において、均一な高い生産性と精度を保証します。高度なイメージング技術と真空/圧力/クーラントモジュールの統合により、効率的で費用対効果の高いフォトリソグラフィ生産セルを提供するための設備が整っています。