中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399456 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、高性能誘電体パターニング用に設計されたフォトレジスト（PR）装置です。オールインワンプラットフォームを使用して、最も費用対効果が高く効率的なフォトレジストの開発とドライエッチングのプロセスをユーザーに提供します。TEL CS-600フォトレジストシステムは、集積回路、LED照明、ディスプレイ製品の製造など、材料の正確なパターンを必要とする幅広い用途に適用できます。TOKYO ELECTRON CS-600は、高速かつ高精度なシングルホイール設計により、パーティクルフリーの加工と敏感部品の取り扱いが可能です。デュアルスキャナユニットを備えており、各ユニットはそれぞれ90kHzと200kHzのデュアル波長KRYDFE出力で最大100ウェハの処理が可能です。CS-600はまた、より高速、精度だけでなく、より大きな処理能力のためのオプションの4つのホイールオプションを提供しています。4ホイールオプションでは、ウェーハのプリコンディショニングが強化され、ウェーハの前露とコーティングが向上します。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600フォトレジストユニットは、様々なコーティングやPRの厚さで使用することができ、開発されたパターンの壁の厚さの制御に優れています。TEL CS-600は半自動のPRスクラブプロセスも備えており、パターン開発時に均一で反復可能な結果を得ることができます。データ入力に関しては、当社のSPS-nanoManagerデータベースソフトウェアと統合し、ウエハー基板の特性やパラメータを制御することがCS-600ます。このマシンはまた、リアルタイムの基板データ読み込みプロセスを提供し、任意のデータベースインターフェイスを使用することができます。安全面では、このツールはISO 14644-13粒子および無溶剤環境要件に準拠しています。全体として、CS-600フォトレジスト資産は費用対効果が高く設計されており、材料処理中に精度、速度、信頼性をユーザーに提供し、プロセス中の敏感な部品への損傷のリスクを低減します。優れたウェハプリコンディショニング、優れたPRスクラブプロセス制御、リアルタイム基板データ読み込みを提供することで、ユーザーはモデルの最大処理能力と可能な限り最高の結果を得ることができます。