中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9399455 を販売中

ID: 9399455
ヴィンテージ: 2000
Plasma cleaner 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、半導体製造プロセスで使用される特殊フォトレジスト装置です。この装置は、レーザー源を使用して基板の最上層の抵抗を低減することによって機能し、負と正のフォトダイオードが電子部品の基板を恒久的に変更するエッチング処理を促進することができます。TEL CS-600のレーザー光源は基板の小さな部分を照明し、光学系に反射して照明領域をより正確に解析します。光学ユニットは、フォーカシングレンズとフォトデテクターレンズの2つのレンズで構成されています。フォーカシングレンズは、レーザー光源からフォトデテクターレンズに光をリダイレクトすることで動作します。フォトデテクターレンズは、その光を基板上の対象領域に伝達し、表面の抵抗性をさらに高める光にさらされます。抵抗の減少により、表面はエッチングに対してより脆弱になり、基板は恒久的に変更されます。また、最先端のCCD (Charged-Couple Device)カメラを使用して、レーザーを対象とした領域に関する情報を収集します。CCDは、対象領域に到達する光の量を検出して記録し、情報を光学ツールに送信します。本製品は、より精度の高いデータを提供することで、他のフォトレジストシステムよりも優れたCS-600を実現します。CS-600はまた、低騒音温安定化アンプを使用して、CCDからの信号を検出し、コンピュータに送信します。これにより、データ収集プロセスの精度と速度が向上します。さらに、アセットにはミラーが取り付けられており、ユーザーは理想的な結果を得るためにレーザービームの角度を調整することができます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、洗練されたレーザー光源、光学焦点レンズ、CCDカメラを用いて基板表面の抵抗を低減する先進的なフォトレジストモデルです。この装置にはコンピュータインターフェイスとミラーが装備されており、ユーザーはレーザー角を微調整して精度を向上させることができます。
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