中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380689 を販売中

ID: 9380689
ヴィンテージ: 1999
Plasma cleaner 1999 vintage.
TEL CS-600Photoresist Equipmentは、半導体製造ニーズに対応する汎用性と信頼性の高いソリューションです。フォトレジスト(Photoresist)は、半導体ウェーハの表面に様々な用途に使用される光感受性材料です。TOKYO ELECTRON CS-600Photoresist Systemは、技術者が究極の制御と精度でフォトレジストを表面に正確に堆積させることを可能にします。コンピュータ制御の液体ジェットにより得られるスプレープロセスを使用し、正確なスポットオン蒸着を可能にします。これは、複雑なマスキングおよびパターニング要件を持つアプリケーションに最適です。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600Photoresist Unitには、プロセス間でウェハを正確に搬送できるウェハハンドリングマシン、プロセスの整合性と品質を確保するためのチャンバークリーニングプログラム、高い歩留まり処理のための精密な電源などの自動機能が搭載されています。このツールはまた、プロセス全体にわたってすべての重要なパラメータを記録するための高度なデータロギング機能を備えています。TEL CS-600Photoresist Assetは、あらゆるニーズやプロセス要件に合わせてさまざまな設定を提供します。300°Cまでのプロセス温度、1 Torrまでの真空設定、2秒から2時間までの幅広いプロセス時間が可能です。このモデルはまた、チャンバー圧力、湿度、流量、ガス組成などの制御を提供します。TOKYO ELECTRON CS-600Photoresist Equipmentは、あらゆる半導体製造ニーズに対応する信頼性の高いソリューションです。高度な自動化とデータロギング機能を備えたユーザーフレンドリーな設計により、あらゆるプロジェクトに最適です。その精度と柔軟性により、エンジニアは、フォトレジスト処理のニーズが最高の品質と信頼性で対処されることを安心できます。
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