中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380688 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、半導体大量生産における高度な基板のコーティングと開発を目的としたフォトレジスト機器です。最新の技術を駆使し、業界基準に適合した高品質で高効率な結果を生み出します。TEL CS-600は、ウェハハンドリングユニットを備えた最大8x25インチの基板に対応し、最適な基板使用を目指して設計されています。ロボットを利用したカセットからカセットまでの機能を自動化し、ウェーハスループット、ウェーハトランスポート、ウェーハコーティング、開発段階を監視するトラッキングマシンを内蔵しています。このツールはフォトレジストの迅速なコーティングを可能にし、レシピワークフローを簡素化し、幅広い洗剤ソリューションに適しています。さらに、この資産は、多くのスピンおよびスプレー処理化学物質と互換性があります。高精度な東京電子CS-600は、装置の性能を継続的に監視し、必要に応じて直ちに是正措置を講じる自己診断モデルを備えています。このシステムはまた、包括的な単位計測を提供し、温帯、空気速度、湿度、力、濃度、変位および加速度などの複数のパラメータを報告します。この機械には、プロセス制御のための高度なアクティブツールが組み込まれています。ガス圧力、温度、濃度、溶媒流量を検出して調整し、最高レベルの精度を維持することができます。このツールの高度な評価ツールは、自動検査とオペレータの視覚検査を組み合わせて、製品の品質を保証するのに役立ちます。CS-600はオペレータの生産ラインに十分に統合することができ、ウェーハの移動、化学組合せおよび基質の移動のような多数のモジュールの同時制御を、提供します。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600フォトレジストアセットは、高性能と生産性の要件に対応するように設計されています。TEL CS-600は、クラス最高の速度と最高のスループットを提供することで、生産効率を最大限に高めることができます。このモデルは、より効率的で信頼性の高いプロセス操作を目指す半導体サプライヤにとって理想的な選択肢です。